常用的半导体前驱体主要为MO源、电子特气和有机硅/硼及替代物等几类。相对而言,MO源市场随着以南大光电为代表的国内企业市占率逐步达全球领先,竞争趋向激烈,毛利率处于下降过程中;电子特气具体品种很多,其中NF3、SiH4等占据主要地位。目前电子特气市场仍由美国气体化工、普莱克斯、昭和电工等国外企业垄断,但目前全球主要跨国电子气体公司在中国设厂,国内企业布局实际也已开始;有机高k及ALD用前驱体(主要为有机硅/硼、金属及其氧化物)目前对国内企业而言技术壁垒最高,国内尚处于空白阶段。
南大光电(300346)2018年度业绩网上说明会周五下午在全景网举办,公司董事长兼总经理冯剑松在本次活动上表示,目前前驱体业务国内没有竞争对手。按目前国内半导体芯片制造使用前驱体情况进行测算,市场需求量约2亿人民币。