发表于 2019-04-26 18:00:34 股吧网页版
自主研发制造高端微纳装备'光刻机'



(300331)互动平台表示,公司自主研发制造高端微纳装备-光刻机,从设计、组装以及所用软件的开发,均由公司自主完成,自主制造光刻机是公司核心技术及核心竞争力的集中体现。公司光刻设备主要用于微纳材料包括柔性电子、MEMS以及某些特定领域半导体器件的研发与制造,公司的微纳光刻直写设备具有非接触、自动对准套刻、支持翘曲衬底图形光刻的先进功能,可为今后超颖材料、裸眼3D显示、光子晶体、半导体功率芯片、MEMS等研发和制备等方面,提供了前沿性和实用性纳米光刻工具。

公司长期致力于微纳先进技术的研发与产品制造,在裸眼3d、增强现实等方面做了大量前瞻性研究工作,并获得部分相关专利授权。2018年,公司成功攻克“纳米波导光场镜片”批量化关键技术,进一步完善了公司专利池,保证了公司在相应领域的技术领先。公司科研项目“面向柔性光电子的微纳制造关键技术与应用”获得了2018年度省科学技术奖一等奖。逢低可严重关注

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