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化学机械抛光(CMP)设备 华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。CMP是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺,公司所生产CMP设备可广泛应用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线,产品总体技术性能已达到国内领先水平。公司推出了国内首台拥有核心自主知识产权的12英寸CMP设备并实现量产销售,是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商.

半导体器件专用设备制造 根据中国证监会颁布的《上市公司行业分类指引(2012年修订)》,公司属于专用设备制造业(行业代码:C35)。根据《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017),公司属于专用设备制造业下的半导体器件专用设备制造(行业代码:C3562)。

掌握核心技术,技术储备丰富 公司作为目前国内唯一能够实现量产12英寸CMP设备的高端半导体专业设备供应商,高度重视核心技术的自主研发与创新,保持高额的研发投入,近三年研发投入累计达22,264.11万元,占同期营业收入比例15.88%,保证了科技创新成果的持续输出。公司在装备的研发、设计及制造中始终强调创新性及差异化。在化学机械抛光装备的开发中,公司创造性提出了单头单盘直线运动式模块化布局;在抛光单元开发中,公司开创性地设计基于直驱技术的抛光转台;在晶圆装载与传输开发中,公司创造性提出了新型晶圆在位检测系统。

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